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真空泵的測量方式

發(fā)布時(shí)間:2014-9-25 標(biāo)簽:真空泵

  真空泵的測量方式:
      

真空泵


  1.熱偶真空計(jì)
  利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì)。
  2.電離真空計(jì)
  由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
  3.復(fù)合真空計(jì)
  由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測量范圍從大氣~10-5Pa。
  4.冷陰極電離計(jì)
  陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場作用,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
  5.電阻真空計(jì)
  利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì)。
  6.麥克勞真空計(jì)
  也成為壓縮式真空計(jì),將待測的氣體用汞壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。
  7.電容薄膜真空計(jì)
  這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空。
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